TP Etude de l’ellipsométrie

UGS : TPO531
€3,990.00Prix
L’ellipsométrie est une technique optique reposant sur la mesure du changement de l’état de polarisation d’un faisceau lumineux après réflexion sur une surface. Cette modification dépend de la surface à étudier. Ainsi, pour une longueur d’onde et un angle d’incidence donné, il est possible de déterminer les angles ellipsométriques d’un matériau et d’en déduire ses caractéristiques (indices n et k, épaisseur e).
L’ellipsométrie à extinction est basée sur la recherche du minimum de lumière réfléchie par ajustement des angles d’un polariseur et d’un analyseur.
L’objectif du montage proposé est d’assembler et de régler un ellipsomètre didactique pour déterminer les indices et l’épaisseur de différents échantillons (substrat de silicium, monocouche de SiO2 sur substrat de silicium, aluminium, verre) et analyser les conséquences de la variation de longueur d’onde et de l’angle d’incidence.
  • TP Etude de l’ellipsométrie
    Platine goniométrique de précision 1 minute d’arc avec porte réseau
    2 bras pivotants porte composants
    Jeu de substrats et d’échantillons d’étude PEL110
    Laser vert 532nm et rouge 650nm, classe II avec alimentations
    Polariseur linéaire, circulaire, lame quart onde en monture rotative
    Luxmètre sur tige, logiciel d’étude et de traitement, texte de TP