L’ellipsométrie est une technique optique reposant sur la mesure du changement de l’état de polarisation d’un faisceau lumineux après réflexion sur une surface. Cette modification dépend de la surface à étudier. Ainsi, pour une longueur d’onde et un angle d’incidence donné, il est possible de déterminer les angles ellipsométriques d’un matériau et d’en déduire ses caractéristiques (indices n et k, épaisseur e).
L’ellipsométrie à extinction est basée sur la recherche du minimum de lumière réfléchie par ajustement des angles d’un polariseur et d’un analyseur.
L’objectif du montage proposé est d’assembler et de régler un ellipsomètre didactique pour déterminer les indices et l’épaisseur de différents échantillons (substrat de silicium, monocouche de SiO2 sur substrat de silicium, aluminium, verre) et analyser les conséquences de la variation de longueur d’onde et de l’angle d’incidence.