Ce jeton de diffraction est réalisé en microlithogra-
phie pour assurer une grande précision et stabilité
dans le temps. Les obstacles sont disposés sur 3
niveaux horizontaux.
Niveau supérieur : 4 trous Ø150,100,70,50 μm
Niveau central : 4 paires de trous Ø 70 μm avec
différents écartements 100,200,300,400 μm
Niveau inférieur : 2 paires de carrés décalés.